Persyaratan pengukuran
Memindai profil permukaan tiga dimensi chip MEMS dan mengekstrak profil untuk mengukur beberapa perbedaan permukaan yang diukir di atasnya

Gambaran umum fitur utama
Pengukuran tanpa kontak, desain terintegrasi

Pemindaian bentuk 3D, pemrosesan data multifungsi
3. Berlaku untuk pengukuran akurat dari berbagai bahan

4. Mudah digunakan, mudah dipasang dan dibongkar

5. kecepatan pemindaian cepat, presisi lokasi tinggi

6. ± 0,5 sampai ± 1μm akurasi pengulangan dijamin

Stabilitas tinggi, kemampuan anti gangguan yang kuat

Hasil pengukuran
Perbedaan di atas permukaan ukiran sekitar 300 μm

Mengatasi masalah pada perangkat pengukuran pada tahap ini

Ada persyaratan tertentu untuk bahan pengukuran
Pengukuran kontak, bahan pengukuran rusak
3. rentang pengukuran kecil, posisi tidak pasti, kesulitan pengukuran
Kecepatan pengukuran lambat, akurasi rendah, kesalahan pengukuran besar

Struktur yang kompleks dan biaya yang tinggi