Pura Plus yang baru dirancang khusus untuk perubahan kebutuhan terbaru industri wafer untuk ukuran dan indikator peralatan. Pura Plus adalah pemancar variabel kelembaban jejak online yang dipasang secara multiplex di pabrik semikonduktor yang mengarah ke ujung pasokan gas di jalur produksi untuk memantau aplikasi gas inert ultramurni. Distribusi sistem gas di dalam pabrik rumit dan melibatkan banyak cabang, simpul, dan titik penggunaan. Oleh karena itu, setelah titik pemantauan kelembaban biasa, akan menyebabkan pencerobohan kelembaban karena sedikit kebocoran, desain sistem yang tidak efisien, kegagalan komponen atau kesalahan proses, dan mempengaruhi penggunaan hilir. Pura Plus yang dipasang dalam sistem distribusi memberikan indikasi respon yang cepat pada tingkat kelembaban 20 ppb. Perubahan 1 ppb memiliki waktu respon kurang dari 1 menit. Sorotan Respon cepat terhadap perubahan kelembaban tingkat ppb Sensitivitas tingkat lembab rendah (<1 ppb) Konsep baru untuk instalasi pengukuran multi-titik Persyaratan pemeliharaan rendah Indikasi status lampu sinyal Dapat diatur peringatan dan alarm titik Kompatibilitas Jaringan Modbus Perangkat lunak multi-saluran untuk antarmuka kontrol jarak jauh Deteksi pipa gas ultramurni (UHP)
Indikator Teknis
kecepatan respons < 1 menit 20 ppb perubahan kelembaban 1 ppb waktu respons Pengukuran kelembaban 1 ppb hingga 20.000 ppm Rentang tekanan 0 hingga 10 bar Tingkat tekanan 300 bar Pengujian kebocoran 0-9 mbar l / s Rentang aliran kerja 1 ~ 10 l / menit suhu kerja 5 ~ 40 ° C Suhu penyimpanan 30 ~ 70 ° C sumber daya 20 ~ 28 V DC Konsumsi daya 5 W maksimal Kelas pengaman eksternal 500 mA cepat meleleh Data output Modbus ASCII Dua Kabel RS485 Peringatan dan alarm output Jalan 2 Tegangan maksimal 40 V DC arus maksimal 100 mA Bahan kontak gas Bahan Shell Baja tahan karat AISI 316L, pemolesan permukaan dalam <10 Ra Struktur sensor Elektrolit aluminium oksida, Perlindungan berlapis emas atas, Lapisan aluminium bawah Volume Internal 4.4cm³ Berat 450g Antarmuka jalur udara 1 / 4 'm VCR Antarmuka listrik Antarmuka Tipe M 9-pin D Kompatibilitas Elektromagnetik EN50081-2 dan EN50082-2