Pengontrol ketebalan membran- Fornitore global

Lantai 4 401, Bangunan 5, Kota Ilmu Pengetahuan dan Teknologi Baru, Jingchang Street, Distrik Teknologi Tinggi, Kota Zhengzhou

Informasi rinci:

Pengontrol ketebalan membran

Fitur teknis:

1. Operasi layar sentuh penuh, mudah digunakan;

2.32Sistem membran, setiap sistem membran50/100Lapisan pelapis otomatis;

3. 12Input sinyal jalan/12output jumlah saklar jalan;

4. Menyediakan mode kontrol penuh otomatis, semi otomatis, dan manual;

5.Dapat dikontrol2satu sumber, satu set kerja satu set pra-larut lain;

Parameter teknis

	Kontroler CY-FDC-S
Frekuensi getaran kristal	6MHz (opsional 2.5M 3M 5M 9M kristal)
Cara Tampilkan	5 "layar sentuh warna + tingkat tampilan tabung digital dan tebal nyata
Cara operasi	Layar sentuh
Tebal Akhir	00μ0000Å-99μ9999Å
Resolusi tampilan ketebalan	1Å/s
Resolusi tampilan kecepatan	0.1Å/s
Jumlah lapisan lapisan	32 sistem membran, setiap sistem membran 50/100 lapisan;
Jumlah probe	A B
Faktor Alat	0.01-99.99
Tampilan waktu	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Tampilan daya	0～99.9%
Daya pra-lebur	0～99%
Daya pra-pelapis	0～99.9%
Waktu pra-lebur / waktu pra-pelapis	0～99:99 m:s
Waktu isolasi pra-leleh / waktu isolasi pra-pelapis	0～99:99 m:s
Kecepatan pelapis (pengaturan kecepatan)	0～999.9Å/s
Penyimpanan Bahan	257+ 10 jenis kustom
Komunikasi	RS232/RS485
Sumber penguapan terkontrol	2, satu set dapat bekerja satu set pra-larut
Kontrol output	±10V/5V/2.5V
I / antarmuka	12 Input sinyal / 12 output beralih
Jumlah crucible yang dapat dikendalikan	1-16 orang
Lapisan Tampilan	Kurva kecepatan / nilai
Jumlah tur lapisan	Sistem membran 50/100 lapisan otomatis
Ukuran kotak	480 × 280 × 89mm (2U 19 "kotak)

Fitur khusus:

1Manual, Semi Otomatis, Otomatis3Jenis mode pelapis, memenuhi berbagai konfigurasi mesin pelapis;

2Penghentian palapis buatan: Penghentian palapis buatan selama proses pelapis;

3Kontrol manual: menentukan persyaratan proses pelapis awal;

4Sistem film penggangguan: masalah atau kegagalan ditemukan dalam pelapisan otomatis dan semi-otomatis, dapat menghentikan pelapisan dan dapat secara otomatis menyimpan keadaan saat ini, setelah kegagalan **, dapat melanjutkan pelapisan dari sistem film penggangguan;

5Lapisan otomatis atau semi-otomatis, seperti kegagalan getaran kristal, dapat memilih untuk menekan lapisan akhir, lapisan saat ini, beralih chip melanjutkan (probe multi-chip);

6Dua sumber secara bersamaan pra-leleh: saat ini lapisan lapisan dalam proses awal, dapat memilih secara bersamaan untuk2Lapisan dilakukan pra-leleh untuk memenuhi kesempatan yang ketegangan pada persyaratan waktu;

7Perlindungan kata sandi: sistem membran dan fungsi perlindungan kata sandi parameter lapisan membran, melindungi parameter proses dari modifikasi oleh non-pekerja;

8Catatan data pelapis: saat pelapis otomatis atau semi-otomatis, sistem dapat merekam waktu pembentukan film setiap lapisan, * parameter tingkat ketebalan akhir.