Teknik pembersihan mikroelektronik optik didefinisikan sebagai mengeluarkan partikel debu kecil, udara berbahaya, bakteri, dll. dari udara dalam ruang tertentu, dan mengendalikan suhu dan kelembaban dalam ruangan, kebersihan, tekanan dalam ruangan, kecepatan aliran udara dan distribusi aliran udara, getaran kebisingan dan pencahayaan, kontrol listrik statis dalam rentang kebutuhan tertentu, dan diberikan ruang tertutup yang dirancang khusus.
Teknik pembersihan mikroelektronik optik juga disebut ruang bebas debu atau ruang bersih, saat ini telah menjadi fasilitas penting yang sangat diperlukan untuk industri semikonduktor, manufaktur presisi, manufaktur kristal cair, manufaktur optik, manufaktur papan sirkuit dan biokimia, farmasi, manufaktur makanan. Dalam beberapa tahun terakhir, karena pengembangan inovasi teknologi, untuk produk presisi tinggi, kebutuhan miniaturisasi lebih mendesak, seperti penelitian dan manufaktur sirkuit aktif super besar, telah menjadi proyek yang sangat penting di seluruh dunia dalam pengembangan ilmu pengetahuan dan teknologi, dan konsep desain perusahaan kami dan teknologi konstruksi berada di posisi terkemuka dalam industri.
Teknik pembersihan mikroelektronik optik umumnya meliputi:
1. Daerah Produksi Bersih
Ruang bantuan bersih (termasuk ruang pembersihan personel, ruang pembersihan bahan dan sebagian ruang tamu, dll.)
Area manajemen (termasuk kantor, tugas, manajemen dan istirahat, dll.)
Area peralatan (termasuk aplikasi sistem pendingin udara pembersih, ruang listrik, ruang air murni tinggi dan ruang gas murni tinggi, ruang peralatan panas dingin)
Prinsip Pembersihan Teknik Pembersihan Mikroelektronik Optik
Aliran udara → pembersihan efek awal → AC → pembersihan efek menengah → pengiriman angin kipas angin → pipa → pembersihan angin efisien → ditiup ke dalam ruangan → menghilangkan bakteri debu
Partikel lain → tirai angin kembali → pembersihan efek awal Ulangi proses di atas untuk mencapai tujuan pembersihan.
Parameter pemurnian teknik pemurnian mikroelektronik optik
Pertukaran udara: 100.000 kelas ≥ 15 kali; 10000 kelas ≥ 20 kali; 1000 hingga 30 kali. Perbedaan tekanan: bengkel utama terhadap kamar berdekatan ≥5Pa
Kecepatan angin rata-rata: 10 tingkat, 100 tingkat 0.3-0.5m / s; suhu musim dingin > 16 ℃; Musim panas 26°C Fluktuasi ± 2 ° C.
suhu 45-65%; Kelembaban bengkel bubuk GMP adalah sekitar 50%; Kelembaban di lokakarya elektronik sedikit lebih tinggi untuk menghindari listrik statis.
kebisingan ≤65dB (A); suplemen angin baru adalah 10% -30% dari total volume pengiriman udara; Cahaya 300LX.